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相對濕度和露點(diǎn)
相對濕度和露點(diǎn)
相對濕度
相對濕度（%RH）用于描述存在于空氣和水的氣體混合物內(nèi)的水蒸氣含量。它是指空氣中實(shí)際含有的水蒸氣量與當(dāng)時溫度下飽和水蒸氣量的百分比。在生產(chǎn)現(xiàn)場出現(xiàn)的問題，例如材料的膨脹和收縮、硬化和軟化、液體的粘度變化、微生物的繁殖、靜電增加、腐蝕和生銹等很大程度上都受到濕度的影響。

露點(diǎn)
露點(diǎn)（Td）是指露水或冷凝水在冷卻氣體上形成時的溫度。露點(diǎn)溫度用于描述氣體（例如空氣）中非常微小的水分含量。半導(dǎo)體在微機(jī)械加工過程中，由于水分子被認(rèn)為是污染物，因此其加工環(huán)境極其干燥。在這種情況下，相對濕度幾乎保持在0%RH，但是露點(diǎn)溫度對于被測氣體的水分含量變化而言仍然非常敏感。

濕度和露點(diǎn)傳感器技術(shù)
用于測量空氣中水分含量的濕度傳感器大致可分為兩種類型。一種用于測量濕度，另一種則用于測量露點(diǎn)。在濕度水平高于10%RH的空氣中通常需要進(jìn)行濕度測定，在低濕度的環(huán)境下，則傾向于測量露點(diǎn)。在某些高濕條件下，采用露點(diǎn)測量會更方便。

濕度和露點(diǎn)傳感器包括：
1. 干濕球濕度計
2. 機(jī)械濕度計
3. 氯化鋰露點(diǎn)儀
4. 電阻型濕度計
5. 電容型濕度計（結(jié)露儀）
6. 鏡面露點(diǎn)儀

測量濕度和露點(diǎn)儀器設(shè)備包括：
1.濕度記錄儀
2.溫濕度記錄儀
3.露點(diǎn)儀
4.露點(diǎn)記錄儀
5.溫濕度露點(diǎn)記錄儀